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半導體氣體監(jiān)測儀數(shù)據(jù)采集遠程監(jiān)控系統(tǒng)解決方案

時間:2024-05-15 10:35:56 

目前芯片蝕刻是我國半導體行業(yè)的關(guān)鍵技術(shù)之一,芯片蝕刻主要是利用化學反應(yīng)來蝕刻掉芯片表面不需要的部分,以實現(xiàn)芯片電路的制造。在半導體生產(chǎn)中會涉及到很多特殊氣體,而多數(shù)都有毒性和腐蝕性,如氯化氫、溴化氫、氟化氫等。

 

如何及時準確地檢測到有害氣體超標并快速告警,對于確保生產(chǎn)環(huán)境的安全和員工的生命健康具有重要作用,需要在現(xiàn)場部署有害氣體監(jiān)測儀來實現(xiàn)24小時不間斷連續(xù)實時在線監(jiān)測。對此,物通博聯(lián)提供基于工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)的解決方案,助力實現(xiàn)工廠內(nèi)各種有害氣體監(jiān)測儀的數(shù)據(jù)采集與遠程監(jiān)控,從而增強安全管理水平與響應(yīng)能力。

 

根據(jù)國家政策標磚與行業(yè)生產(chǎn)要求,通常要求在抽風口或環(huán)境點安裝有害氣體監(jiān)測儀,并接入自動控制系統(tǒng)PLC實現(xiàn)通風排期設(shè)備的相互互鎖動作,出現(xiàn)異常快速關(guān)閉所有氣源。其中設(shè)備運行狀態(tài)對于是否快速響應(yīng)至關(guān)重要。

因此,通過將物通博聯(lián)工業(yè)智能網(wǎng)關(guān)部署在抽風口和環(huán)境點中,接入有害氣體監(jiān)測儀、PLC中,進行實時數(shù)據(jù)采集并上傳到本地上位機或云平臺中,構(gòu)建實時高效的通信網(wǎng)絡(luò),能夠監(jiān)測有害氣體超標并快速報警,從而采取措施及時管理控制,確保生產(chǎn)安全與生命安全。

 

企業(yè)預定設(shè)定報警閾值與通知方式,當網(wǎng)關(guān)采集到異常超標數(shù)據(jù)時就能自動報警并通過微信、短信、郵件、聲光等方式進行通知,從而提醒工作人員及時采取措施管理控制,通過停機停工、啟停風機等行動去保護自身,避免因人工監(jiān)測誤差而導致的意外事故。

 

此外,通過實時數(shù)據(jù)與歷史數(shù)據(jù)的比較分析,結(jié)合運維工作經(jīng)驗,合理調(diào)整設(shè)備運維周期與生產(chǎn)習慣,確保巡檢、維護等工單工作有序開展,更能借助數(shù)據(jù)分析實現(xiàn)預測性維護,更進一步增強安全管理水平,防患于未然。

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